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端面摇摆式微型电磁驱动器马达

2004年 应用技术
  • 成果简介
该课题属攀登计划B《微电子机械系统》子课题。主要研究内容为：1.微型电磁驱动器换能理论若干问题研究；2.端面摇摆式电磁驱动器原理、特性分析；3.驱动器结构设计及制作；4.研制驱动器控制电源；5.研究微扭矩测量方法，制作微扭矩测量装置；6.开展马达微型化及三维微细加工技术应用研究。主要技术指标：1.端面摇摆式微型电磁驱动器，a.DY5-1型：总体尺寸Φ5mm；转子直径Φ0.7mm，驱动电流400mA...
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